Stäubli Electrical Connectors AG

Asnossas soluções de robôs para salas limpas combinam precisão, velocidade e limpeza

Em termos de precisão e velocidadecombinadas com uma reduzida contaminação por partículas, o fabrico de eletrónica e de semicondutores coloca grandes exigências à automatização. Os robôs Stäubli para salas limpas permitem a implementação de soluções altamente eficientes. Os nossos robôs podem manusear wafers de silício, FOUPs/cassetes, bem como fotomáscaras e painéis com uma precisão e velocidade excecionalmente elevadas e com movimentos de baixa vibração ao longo de toda a cadeia de valor do fabrico de semicondutores.

Especialmente desenvolvido para a indústria de semicondutores

Os robôs de seis eixos Supercleanroom (SCR), especialmente desenvolvidos, foram concebidos para satisfazer os requisitos rigorosos dos ambientes de sala limpa. As máquinas estão em conformidade com as normas ISO 14644-1 Classe 2/3 ou FED209E Subclasse 1. As máquinas apresentam um braço completamente encapsulado feito de poliuretano com um revestimento especial e caracterizam-se por uma impressionante manobrabilidade em espaços confinados. Os robôs SCR da Stäubli oferecem mais flexibilidade, uma maior carga útil e um maior alcance em comparação com outros robôs de fabrico de bolachas. Assim, satisfazem todos os requisitos para o manuseamento de bolachas, fotomáscaras e cassetes. Graças ao tamanho reduzido dos robôs, é possível poupar espaço valioso de instalação nas máquinas especiais.