Bronkhorst High-Tech BV

Medidores de Fluxo de Massa de Gás com Vedação Metálica

Bronkhorst® modelo F-111CM Medidores de Fluxo de Massa (MFM) projetados especialmente para atender às exigências do mercado de semicondutores, bem como outras aplicações de gás de alta pureza. Os instrumentos apresentam alta qualidade superficial e são de construção modular com vedações metal-metal que garantem a estanqueidade a longo prazo. O F-111CM é adequado para medição precisa de faixas de vazão entre 0,12...6 sccm até 1...50 slm (baseado em N2) a pressões operacionais entre vácuo e 1500 psig (100 bar).

A série EL-FLOW® Metal Sealed está equipada com uma placa digital de circuito impresso, oferecendo alta precisão, excelente estabilidade de temperatura e resposta rápida. A placa de circuito impresso digital principal contém todas as funções gerais necessárias para a medição e controle. Além da saída padrão RS232, os instrumentos também oferecem E/S analógicas. Como opção, um interface on-board pode ser montado para fornecer os protocolos CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP ou FLOW-BUS. O design EL-FLOW® Metal Sealed apresenta a funcionalidade opcional Multi Gas / Multi Range, proporcionando aos clientes (OEM-) a máxima flexibilidade e eficiência de processo.