Bronkhorst High-Tech BV

Medidores de caudal mássico de gás com vedação metálica

Medidores de caudal mássico (MFM) Bronkhorst® modelo F-111CM concebidos especialmente para satisfazer os requisitos do mercado de semicondutores, bem como outras aplicações de gás de elevada pureza. Os instrumentos apresentam uma elevada qualidade de superfície e são de construção modular com vedantes metal-metal que garantem uma estanquidade a longo prazo. O F-111CM é adequado para a medição precisa de gamas de caudal entre 0,12...6 sccm e 1...50 slm (com base em N2) a pressões de funcionamento entre vácuo e 1500 psig (100 bar).

A série EL-FLOW® Metal Sealed está equipada com uma placa de circuito impresso digital, oferecendo alta precisão, excelente estabilidade de temperatura e resposta rápida. A placa de circuito impresso digital principal contém todas as funções gerais necessárias para medição e controlo. Para além da saída RS232 padrão, os instrumentos também oferecem E/S analógicas. Como opção, pode ser montada uma interface integrada para fornecer protocolos CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP ou FLOW-BUS. O design EL-FLOW® Metal Sealed apresenta a funcionalidade opcional Multi-Gás/Multi-gama, proporcionando aos clientes (OEM-) uma flexibilidade e eficiência de processo óptimas.