Aurion Anlagentechnik GmbH
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- DIN EN ISO 9001:2015
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01.10.2025 10:40
Sistemas em cluster e em linha
Sistemas de aglomerados
A AURION oferece sistemas multi-câmara com manuseamento de substratos sob vácuo adaptados às suas necessidades. As configurações disponíveis incluem câmaras de bloqueio de carga, câmaras de transferência e módulos de processo para processos de pulverização catódica e RIE.
Sistemas em linha
A AURION oferece sistemas em linha (pass-by) com transporte de substrato sob vácuo de acordo com as suas necessidades. As configurações disponíveis incluem câmaras de bloqueio de carga, câmaras de pré-tratamento e câmaras de pulverização catódica. Estão disponíveis disposições verticais e horizontais.
Categoria
Ofertas
Estado
Alemanha